丝网印刷用网板、光刻方法及其应用

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（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）发明专利说明书

（10）申请公布号

CN105109188B

（43）申请公布日2017.09.29（21）申请号CN201510562930.0

（22）申请日2015.09.07

（71）申请人贾云涛

地址100085 北京市海淀区上地西路颂芳园3号楼4门301号

（72）发明人贾云涛

（74）专利代理机构中国商标专利事务所有限公司

代理人宋义兴

（51）Int.CI

权利要求说明书说明书幅图

（54）发明名称

丝网印刷用网板、光刻方法及其应用

（57）摘要

本发明涉及一种丝网印刷用的网板、

光刻方法及其应用，丝网第一方向上间隔区

宽度大于第一方向丝线区丝线之间距离；通

过在丝网区按照预定距离设置较宽的间隔

区，光刻前，根据该预定距离，可以预先在

掩膜版上设置每个槽线图形的位置，曝光

前，将掩膜版直接覆盖在丝网上，使掩模版

上槽线对应于丝网上相应间隔区的位置进行

光刻并显影处理。从而解决了光刻前掩模版

上制备槽线图形位置时设置不便的问题，大

幅提高了在用于太阳能电池制造等领域的网